「AIが出した結果の精査に数日かかる」という課題を解決　東芝と統数研が不良原因解析AIを開発：現場技術者の知見を反映可能に

東芝と情報・システム研究機構の統計数理研究所は、半導体工場などに向けた不良原因解析AI「Transfer Lasso」を共同開発した。従来、数日かかっていた解析結果の精査が1日で済むようになるという。

　東芝と情報・システム研究機構の統計数理研究所（統数研）は2020年12月10日、半導体工場など製造現場における不良原因を解析するAI（人工知能）「Transfer Lasso」（Transfer Least absolute shrinkage and selection operator）を共同開発したと発表した。このAIは、現場技術者の知見を反映することで従来数日かかっていた「解析結果の精査」を1日に短縮できるとしている。

東芝と統数研が開発した不良原因解析AI「Transfer Lasso」の概要（出典：東芝）

「AIが出した結果の精査に数日かかる」という課題を解決

　半導体の製造現場は、製造装置の経年変化やメンテナンスによる装置の状態、納入される材料の特性変化などによって製品の品質は日々変動する。定期的に品質を監視する必要があるが、多くの工程や製造装置が複雑に連携しているため、監視データは膨大になる。